干式真空泵(又簡(jiǎn)稱干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。
干式真空泵,是利用一對(duì)螺桿,在泵殼中作同步高速反向旋轉(zhuǎn)而產(chǎn)生的吸氣和排氣作用的抽氣設(shè)備,兩螺桿經(jīng)精細(xì)動(dòng)平衡校正,由軸承支撐,安裝在泵殼中,螺桿與螺桿之間都有間隙,因此泵工作時(shí),相互之間無(wú)磨擦,運(yùn)轉(zhuǎn)平穩(wěn),噪音低,工作腔無(wú)需潤(rùn)滑油,因此,干式螺桿泵能抽除含有大量水蒸汽及少量粉塵的氣體場(chǎng)合,極限真空更高,消耗功率更低,具有節(jié)能,免維修等。它是油封式/水環(huán)式/噴射式真空泵的更新?lián)Q代產(chǎn)品。
無(wú)油渦旋真空泵,渦旋無(wú)油真空泵的渦旋盤就是一個(gè)一端與一個(gè)平面相接的一個(gè)或幾個(gè)漸開線螺旋形成一個(gè)渦旋型盤狀結(jié)構(gòu)。一個(gè)靜渦旋盤與一個(gè)動(dòng)渦旋盤組成的一對(duì)渦旋盤付構(gòu)成了渦旋無(wú)油真空的基本抽氣機(jī)構(gòu)。例如在雙級(jí)渦旋無(wú)油真空泵中,有兩個(gè)方向?qū)?yīng)的固定渦旋盤,一個(gè)位于兩個(gè)渦旋盤之間的轉(zhuǎn)動(dòng)渦旋盤。動(dòng)、靜渦旋盤相對(duì)運(yùn)動(dòng)形成容積不斷變化的新月形真空腔使氣從抽氣口吸入、排氣口排出、完成排氣循環(huán)。
干式螺桿真空泵、爪式真空泵、無(wú)油渦旋真空泵極限真空度都很高,高極限真空均可達(dá)到1-2Pa;無(wú)油往復(fù)真空泵為粗真空設(shè)備,極限真空度低,需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。抽氣量:無(wú)油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問(wèn)題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號(hào)齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。穩(wěn)定性:干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低;無(wú)油往復(fù)真空泵結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,噪音較高,需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復(fù)雜,轉(zhuǎn)子與軸不為一體,出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配,反復(fù)裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
由于化工、制藥等相關(guān)工藝氣中會(huì)不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體,所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理,可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理,各級(jí)隔板之間幾乎無(wú)法做表面處理,轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時(shí)損傷。無(wú)油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。