先來講,我們其實(shí)也就是要注意就干式真空泵其實(shí)也就是會(huì)應(yīng)用在了低壓化學(xué)氣相沉積當(dāng)中的多晶硅制備工藝;再者,就干式真空泵其實(shí)也就是會(huì)應(yīng)用了半導(dǎo)體刻蝕工藝。處于這些生產(chǎn)工藝當(dāng)中,這時(shí)候,其實(shí)也就是會(huì)用到或者是生成腐蝕性氣體與相關(guān)的研磨微粒。
再者,就干式真空泵的應(yīng)用來講的話,除了半導(dǎo)體工藝之外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氲奖糜彤?dāng)中,且希望微粒排出泵之外會(huì)用到此設(shè)備;就其處于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)或者是食品工業(yè)當(dāng)中的蒸餾、干燥、脫泡以及其包裝等,要注意去防止有機(jī)溶劑所造成污染,適合用干式真空泵。
緊接著,也就是要注意應(yīng)該是要做一般無油清潔真空系統(tǒng)上的前級泵,這時(shí)候也就是能防止油出現(xiàn)污染。
干式真空泵在進(jìn)行工作的時(shí)候,就其相互之間其實(shí)也就是會(huì)沒有什么摩擦,運(yùn)轉(zhuǎn)的時(shí)候其實(shí)也就是會(huì)比較的平穩(wěn),再者,就另外一個(gè)方面來講,對于它的噪音上其實(shí)也就是會(huì)比較的低,工作腔當(dāng)中其實(shí)也就是會(huì)沒有什么潤滑油,也正是因?yàn)槿绱?,就干式螺桿泵其實(shí)也就是可以抽除含有大量水蒸汽以及其少量粉塵。
因?yàn)楦墒秸婵毡蒙系穆輻U可以直接的就制成了變螺距結(jié)構(gòu),這個(gè)時(shí)候,它其實(shí)也就是會(huì)和等螺距結(jié)構(gòu)進(jìn)行比較,這個(gè)時(shí)候,我們其實(shí)也就是會(huì)注意到就其本身的極限真空上其實(shí)也就是會(huì)更高,就其消耗功率上其實(shí)也就是會(huì)更低,干式真空泵還具有節(jié)能以及其免維修等一系列的優(yōu)點(diǎn)。