干式真空泵以高效的產(chǎn)品運(yùn)用能力，效果更優(yōu)，逐漸開(kāi)拓了市場(chǎng)，發(fā)揮了自身的優(yōu)勢(shì)，原理簡(jiǎn)單易懂，滿(mǎn)足大家的需求。干式真空泵運(yùn)轉(zhuǎn)時(shí)，在電動(dòng)機(jī)的驅(qū)動(dòng)下，通過(guò)曲柄連桿機(jī)構(gòu)的作用（旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)轉(zhuǎn)變成直線運(yùn)動(dòng)），使氣缸內(nèi)的活塞作往復(fù)運(yùn)動(dòng)。當(dāng)活塞在氣缸內(nèi)從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，由于氣缸的左腔體積不斷增大，左腔空間的壓強(qiáng)不斷的降低，當(dāng)左腔空間內(nèi)的壓強(qiáng)低于被抽容器內(nèi)的壓強(qiáng)，根據(jù)氣體壓強(qiáng)平衡的原理，被抽容器內(nèi)的氣體經(jīng)過(guò)吸氣閥不斷地被抽進(jìn)左腔，此時(shí)正處于吸氣過(guò)程。
當(dāng)活塞達(dá)到最右位置時(shí)，氣缸左腔內(nèi)就充滿(mǎn)了氣體。接著活塞從右端向左端運(yùn)動(dòng)，此時(shí)吸氣閥自動(dòng)關(guān)閉。氣體隨著活塞從右往左運(yùn)動(dòng)而逐漸被壓縮。當(dāng)氣缸內(nèi)的氣體達(dá)到排氣壓力時(shí)，此時(shí)排氣閥被打開(kāi)，氣體被排出，完成了一個(gè)工作循環(huán)。當(dāng)活塞在從左端向右端運(yùn)動(dòng)時(shí)，重復(fù)上述循環(huán)，直到被抽容器達(dá)到某一平衡壓力為止。干式真空泵原理簡(jiǎn)單，使用優(yōu)勢(shì)多，促進(jìn)了產(chǎn)品的整體應(yīng)用效果，開(kāi)拓了應(yīng)用市場(chǎng)。
使用適當(dāng)型號(hào)的干式真空泵解決了原有機(jī)械機(jī)械真空泵無(wú)法解決的兩大問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。
二是由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。我公司產(chǎn)品型號(hào)齊全，大致可分為：
1、雙圓裂片式。其設(shè)計(jì)和目前最流行和廣泛應(yīng)用的羅茨泵非常相似。事實(shí)上，一些最早期的干泵設(shè)計(jì)思想就是將羅茨泵疊加起來(lái)。這種多級(jí)設(shè)計(jì)使得氣體通路相當(dāng)復(fù)雜，并且每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)馄鸬较♂尯透綦x作用。同時(shí)，為了達(dá)到好的真空度，對(duì)各級(jí)的間隙有非常嚴(yán)格的要求。當(dāng)然，這種設(shè)計(jì)由于增加了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較低。
2、內(nèi)部壓縮型螺桿式。除了使用一對(duì)非等距螺桿以外，內(nèi)部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)和外部壓縮型螺桿式設(shè)計(jì)的基本原理非常相似。螺桿間容積的不斷減小使得其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。這種設(shè)計(jì)由于產(chǎn)生內(nèi)部壓縮而使得其耗電量降低到同多級(jí)泵相當(dāng)?shù)乃?。但在很多工藝中，這種內(nèi)部壓縮同多級(jí)泵一樣，極易造成氣體在泵體內(nèi)的物理化學(xué)變化而產(chǎn)生固化或液化。
3、組合式(羅茨+爪)。設(shè)計(jì)用羅茨來(lái)提高在較低壓力下的抽氣效率，用爪來(lái)提高在較高壓力下的抽氣效率。它的基本原理和氣體通路同前面介紹的圓裂片式設(shè)計(jì)完全相同。也有些廠家將其最后一級(jí)改為星型設(shè)計(jì)，這樣可以在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為五份，就像三圓裂片式設(shè)計(jì)可以將其分為三份。同樣，在很多工藝中，組合式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦?lái)起到稀釋和隔離作用。
4、三葉圓裂片式。此種干式真空泵設(shè)計(jì)和雙圓裂片式設(shè)計(jì)的原理完全相同，只是在旋轉(zhuǎn)一圈中將氣體分為三份而不是像雙圓裂片式分為兩份。這兩種設(shè)計(jì)有著相同的優(yōu)點(diǎn)和缺點(diǎn)。為了進(jìn)一步降低耗電量，在傳動(dòng)部分有的廠家選用兩個(gè)直流馬達(dá)，但這也會(huì)導(dǎo)致扭矩減小，重新啟動(dòng)的能力-下降。同雙圓裂片式設(shè)計(jì)一樣，三葉圓裂片式設(shè)計(jì)的每一級(jí)都需要較大流量的氮?dú)鈦?lái)起到稀釋和隔離作用。
5、外部壓縮型螺桿式。使用一對(duì)等距螺桿。這使得內(nèi)部壓縮減到最小，同時(shí)使得氣體通路最短也最簡(jiǎn)單。這樣，氣體在干式真空泵體內(nèi)停留的時(shí)間也最短。雖然這種設(shè)計(jì)由于減少了內(nèi)部的壓縮比而使得其耗電量相對(duì)較高，但在很多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級(jí)設(shè)計(jì)使得其對(duì)氮?dú)庥昧康囊笠卜浅Ｐ《液?jiǎn)單，這樣就使得其在不同工藝中有很好的互換性。在很多清潔的工藝中甚至可以不用氮?dú)狻?/p>
