干式真空泵的應(yīng)用非常廣泛,主要有以下幾個方面,下面小編帶你了解一下干式真空泵的應(yīng)用范圍和場景:
1)多晶硅制備過程中的低壓化學(xué)氣相沉積;
2)半導(dǎo)體蝕刻工藝。 在這些制造過程中經(jīng)常使用或產(chǎn)生腐蝕性氣體和磨粒;
3)除半導(dǎo)體工藝外,部分工藝過程產(chǎn)生的顆粒,不希望顆粒與泵油混合,希望顆粒從泵內(nèi)排出,用一定類型的干式機械真空泵達到要求;
4)在化學(xué)工業(yè),醫(yī)藥工業(yè),食品工業(yè)的蒸餾,干燥,消泡,包裝,防止有機溶劑引起的污染,適合與干式真空泵配套使用;
5)用作普通無油清洗真空系統(tǒng)的前級泵,防止油污染。
干式真空泵主要有以下幾種形式:
雙圓片
雙盤設(shè)計與當今最流行和廣泛使用的羅茨泵非常相似。事實上,一些最早的干泵設(shè)計是羅茨泵的堆疊。這種多級設(shè)計使得氣路非常復(fù)雜,并且需要在每個階段有更大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。同時,為了達到好的真空度,對各級的通關(guān)要求也是非常嚴格的。當然,由于內(nèi)部壓縮比的增加,這種設(shè)計使其功耗相對較低。
三葉草裂片
苜蓿葉形分割設(shè)計與雙分割設(shè)計相同,只是氣體在一次旋轉(zhuǎn)中被分成三部分而不是兩部分。兩種設(shè)計都有相同的優(yōu)點和缺點。為了進一步降低功耗,一些廠商在選擇兩個直流電機的傳動部分,但這也會導(dǎo)致轉(zhuǎn)矩減小,重新啟動 - 下降的能力。與雙盤設(shè)計一樣,三葉草設(shè)計的每個階段都需要較大的氮氣流量來進行稀釋和隔離。
組合(根+爪)
組合(根部+爪部)與根部一起設(shè)計,以改善吸氣效率在更高的壓力下吸氣效率。其基本原理和氣路與上一節(jié)所述完全相同。一些廠家將最后的水平設(shè)計成明星,這樣的氣體可以分為五個革命,就像三個圓形的分割設(shè)計可以分成三個。同樣,在許多過程中,組合設(shè)計的每個階段需要更大量的氮氣流作為稀釋和隔離。
外部壓縮式螺絲
在外部壓縮式螺絲設(shè)計中,使用一對等距的螺絲。這使內(nèi)部壓縮最小化,同時保持氣路最短和最簡單。這樣,氣體可以在最短的時間內(nèi)停留在泵體內(nèi)。盡管這種設(shè)計由于其內(nèi)部壓縮比降低而導(dǎo)致功耗相對較高,但在許多復(fù)雜的半導(dǎo)體工藝中表現(xiàn)出極高的穩(wěn)定性。這種單級設(shè)計使得氮氣需求非常小且簡單,這使得它在不同工藝中可以互換。在許多清潔過程中,您甚至可以消除氮氣。
內(nèi)部壓縮式螺絲
除了使用一對非等距的螺絲外,內(nèi)壓螺絲設(shè)計和外壓螺絲設(shè)計的基本原理非常相似。螺絲減小的體積使其內(nèi)部產(chǎn)生壓縮。 由于內(nèi)部壓縮,該設(shè)計將功耗降至與多級泵相當?shù)乃健?然而,在許多工藝中,這種內(nèi)部壓縮,就像多級泵一樣,很容易造成氣體在泵體中發(fā)生物理和化學(xué)變化而凝固或液化。