低干式真空泵設(shè)備如真空運(yùn)輸.真空預(yù)浸.真空過(guò)慮.真空簡(jiǎn)單.真空減壓蒸餾（鋼液處理）等要求具備壓力高.排量大的低真空泵抽 氣發(fā)電機(jī)組，這種低真空抽氣機(jī)組主泵常見(jiàn)往復(fù)真空泵.骨架密封式真空泵.水蒸汽放射性泵.水環(huán)真空泵.羅茨真空泵等。應(yīng)用的低真空抽氣機(jī)組 還需要根據(jù)被抽汽體清理水平.環(huán)境濕度或別的獨(dú)特要求，配備必需的除塵設(shè)備.簡(jiǎn)單罐等構(gòu)件。 水蒸汽在縮緊全過(guò)程中會(huì)凝固成水珠，并與泵混和組成混液，不只能使真空度著陸，也可以使泵腔與電機(jī)轉(zhuǎn)子銹蝕，毀壞突面，使泵的 極限真空度著陸。因此，避免水蒸汽對(duì)真空泵的環(huán)境污染很重要。

避免的對(duì)策有： （1）采用含有莫墩器的氣缸密封圈真空泵； （2）盛油各自器.離心式風(fēng)機(jī)各自器或水油各自器，將混存水的機(jī)械設(shè)備油閥中斷處理，處理過(guò)的油再注入泵中應(yīng)用； （3）應(yīng)用吸水能力強(qiáng)的單調(diào)濟(jì)； （4）應(yīng)用液態(tài)氮冷肼，不只可以合理地吸咐水蒸汽，與此同時(shí)還能夠阻礙機(jī)械設(shè)備油閥向高真空室反流。 應(yīng)用吸水能力強(qiáng)的單調(diào)濟(jì)； 油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)軟件環(huán)境污染與預(yù)防 油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)軟件是應(yīng)用zui廣泛的真空系統(tǒng)軟件，其得到真空度范疇為1.3×10-3～1.3×10-5Pa。油擴(kuò)散泵真空系統(tǒng)軟件組成的各種真空設(shè)備，長(zhǎng)期性應(yīng)用后，普遍的不足之處是真空度抽不上來(lái)，或真空度抽不上原先的極限真空水準(zhǔn)。與真空房間內(nèi)壁的油蒸汽環(huán)境污染.真空加工工藝全過(guò)程各種各樣污染物質(zhì)的環(huán)境污染相關(guān)，避免的法子是： 按時(shí)清理真空室； 按時(shí)對(duì)骨架密封機(jī)械設(shè)備真空泵和油金屬材料擴(kuò)散泵中斷清理。---真空泵廠(chǎng)家