干式無油螺桿真空泵致動的泵腔無油無水,不會污染真空室或萃取介質(zhì)。此外,支持設(shè)施很少,可以直接排放到大氣中。短期購買投資成本要高于傳統(tǒng)真空泵,但無油干式真空泵的后續(xù)使用和維護成本要低得多,而且時間越長,后期的成本差異就越明顯。----真空泵廠家
干式無油螺桿真空泵是一種干燥的非接觸式恒螺距螺桿真空泵。兩個螺釘準確地動態(tài)平衡并由軸承支撐。該設(shè)備在泵殼內(nèi)。螺釘之間有的間隙。泵的運行穩(wěn)定,沒有碰撞,并且工作室中沒有介質(zhì)。因此,干式無油螺桿真空泵是一種節(jié)能的真空泵,可以排出含有大量可冷凝氣體和粉塵的氣體。它比油封機械真空泵,液封真空泵,往復(fù)式真空泵和其他類型的真空泵更適合。
一, 干式螺桿真空泵選型
1、干式螺桿真空泵在其工作壓力下,應(yīng)能排走真空泵設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的氣體量。
2、每種泵都有的工作壓力范圍,因而,泵的工作點應(yīng)該選擇在這個范圍之內(nèi),而不能讓它在允許工作壓力以外長時間工作。
3、油式真空泵的限壓力應(yīng)該滿足該工藝的工作壓力。通常選擇泵的限壓力低于工藝要求約一個數(shù)量級。
干式真空泵是未來行業(yè)發(fā)展的趨勢,今天,我們已進入干式真空泵時代,同過去旋片和活塞油式真空泵時代相比,一個受過良好培訓(xùn)的消費者在真空泵的選擇上起著舉足輕重的作用。要知道,有如此多類型的干式泵可供選擇,而選一個能和您的半導(dǎo)體工藝相匹配的類型是關(guān)鍵所在。