目前各種真空泵的開展愈來愈遭到真空應用場所的影響，普通的真空系統(tǒng)無法滿足清潔無油的耐腐蝕的請求，因而近年來干式真空泵市場需求量很大，真空獲得產(chǎn)品曾經(jīng)呈現(xiàn)更新?lián)Q代的場面，大量的有油真空系統(tǒng)曾經(jīng)被無油清潔的真空系統(tǒng)所替代。

國外簡直每一家較大的真空公司都消費各種不同型式的干式真空泵。螺桿真空泵屬于非接觸型干式泵，是20世紀90 年代初期呈現(xiàn)的一種理想的泵種，以其抽速范圍寬、構造簡單緊湊、抽氣腔元件無摩擦、壽命長、能耗低、無油污染等優(yōu)點占領市場，但其制造技術大局部為國外控制，我國尚處于起步階段，市場對于干式泵有迫切的需求。

一、現(xiàn)狀：

干式螺桿真空泵由于其優(yōu)越的性能，在歐美和日本目前曾經(jīng)成為微電子、半導體、制藥、精細加工等行業(yè)首選真空取得設備。日本在螺桿緊縮機根底上，很早就研發(fā)出了真空泵的多頭轉子型線并投入市場。德國幾家真空設備公司也逐漸開發(fā)出了等螺距、變螺距轉子型線，并在轉子和機體冷卻方面做了很多研討。

螺桿泵的技術關鍵問題：

干式螺桿泵的構造：

螺桿真空泵構造主要由螺桿轉子、殼體、冷卻循環(huán)和密封資料構成。傳動軸銜接主動轉子，經(jīng)過同步齒輪帶動從動轉子的旋轉，在殼體上開有冷卻水通道，用來冷卻轉子和排氣口溫度，同步齒輪及軸承用油光滑。軸承和殼體內部經(jīng)過密封件來密封以到達無油的效果。干式螺桿真空泵同無油螺桿緊縮機在密封和光滑上構造相似。普通真空泵的排氣端用機械式密封件，進氣側通常用雙唇形密封件。在傳動方式上，目前通用的是直連電機，用連軸器與轉子銜接，極少數(shù)用皮帶或者鏈傳動。

等螺距螺桿泵由于無內緊縮過程，排氣溫度十分高（110度左右），假如冷卻效果不好，會形成轉子和機殼變形，影響啜泣效果，所以冷卻機殼是必不可少的一個環(huán)節(jié)，水冷是最常見的辦法。在機殼本體，軸承外側通冷卻水，能夠到達冷卻殼體進而冷卻轉子的目的。萊寶公司在轉子內部通水冷卻，增加轉子壽命，

并到達很好的冷卻效果。但是該種構造設計（兩段式），需求一定的技術及加工程度支撐。

用水冷有時不能到達冷卻效果，因此通常在靠近排氣端轉子左近通冷卻氣體（多為氮氣）。如今國外的主流螺桿真空泵都采用這種辦法。這種辦法有幾個益處：第一，能冷卻轉子的機殼，降低排氣溫度；第二，當氣體內含有顆粒物時，能避免顆粒物堆積或者發(fā)作化學反響惹起爆炸。