真空泵應(yīng)能夠在其工作壓力下排出真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的所有氣體量。正確組合真空泵。由于真空泵有選擇性抽氣，即使選擇某個泵也可能不能滿足抽氣要求，需要組合幾個泵，相互補充以滿足抽氣要求。如鈦升華泵對氫有很高的抽速，但不能抽氦，而三極型濺射離子泵，（或二極型非對稱陰極濺射離子泵）對氬有一定的抽速，兩者組合起來，便會使真空裝置得到較好的真空度。

真空泵在大氣壓下無法工作，需要真空預(yù)處理，真空泵的出口壓力低于大氣壓，需要前級泵，因此需要組合使用泵。 真空設(shè)備對油污染的要求。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時，應(yīng)該選各種無油泵，如：水環(huán)泵、分子篩吸附泵、濺射離子泵、低溫泵等。如果要求不嚴(yán)格，可以選擇有油式真空泵，加上一些防油污染措施，如加冷阱、障板、擋油阱等，也能達到清潔真空要求。

真空泵應(yīng)安裝在路面牢固牢固的場地，周邊應(yīng)留出充足的空間，有利于查驗、維護保養(yǎng)、維護保養(yǎng)。真空泵基座下應(yīng)維持路基水準(zhǔn)，基座四角處提議墊避震橡皮擦或用地腳螺栓澆制安裝，保證機械泵運行穩(wěn)定，震動小。

真空泵與系統(tǒng)的連接管道應(yīng)密封可靠，對小真空泵可采用金屬管路連接密封墊采用耐油橡膠，對小真空泵可采用真空膠管連接，管道管徑不得小于真空泵吸氣口徑，且要求管路短而少彎頭。（焊接管路時應(yīng)清除管道中焊渣，嚴(yán)禁焊渣進入真空泵腔。）