油式真空泵是通過油來密封，潤(rùn)滑，降溫，這個(gè)類型的油式真空泵可以接受一點(diǎn)水分，而無油真空泵由于葉片材質(zhì)多是石墨制作的，如果遇到水分，就容易膨脹，損壞，但是無油油式真空泵用起來比較干凈，在一些環(huán)境要求比較高的地方可以使用。

    油式真空泵相比同抽速的無油式旋片泵而言，油式真空泵真空度更高一些。油式旋片油式真空泵在連續(xù)運(yùn)作中由于有機(jī)械密封件與潤(rùn)滑油的雙層密封，使得油式真空泵在抽除、壓縮與排氣的一系列動(dòng)作中更穩(wěn)定，氣體泄漏的機(jī)率減低。

    油式真空泵對(duì)水份的敏感度比無油式真空泵的更容易適應(yīng)，無油式真空泵由于葉片的限制，旋片在接觸水份后容易膨脹斷裂，對(duì)水份的敏感度高；油式真空泵獨(dú)特的油式真空泵結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)，可有效分離油水，故而在有限度水份的行業(yè)被廣泛應(yīng)用。在越來越注重環(huán)保的趨勢(shì)下，自身帶油水分離器結(jié)構(gòu)的油式真空泵，更是得到了大眾的認(rèn)可與使用，有效保護(hù)環(huán)境清潔。例如，線路板行業(yè)，玻璃制程生產(chǎn)等。

    油式真空泵不能在大氣壓下工作，需要預(yù)真空;有的油式真空泵出口壓力低于大氣壓，需要前級(jí)泵，故都需要把泵組合起來使用。經(jīng)組合使用的油式真空泵，我們稱之為油式真空泵機(jī)組，它能使真空系統(tǒng)得到較好的真空度及排氣量。我們應(yīng)正確地選擇組合的油式真空泵，由于不同的油式真空泵對(duì)抽除的氣體要求有不同的要求，例如：在一般情況下羅茨-旋片機(jī)組不適用于含有較多可凝性氣體的系統(tǒng)。

    真空泵是主要的真空裝備、從產(chǎn)生真空原理上分為：容積式真空泵（如液環(huán)泵，螺桿泵，羅茨泵等）；動(dòng)量傳遞式真空泵（如分子泵：噴射真空泵:擴(kuò)散泵均屬于此類）；氣體捕集式真空泵（如鈦升華、鋯鋁合金吸氣泵、低溫泵濺射離子泵、熱蒸發(fā)鈦升華泵等）。