真空行業(yè)使用的大多數(shù)機械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤滑等多種作用。隨著科學技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴大,原有的機械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個急需解決問題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護成本。其次,由于某些工藝過程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴重變質(zhì),使泵不能正常工作。
性能比較:
1)真空度:干式真空泵、爪式真空泵、無油渦旋真空泵極限真空度都很高,高極限真空均可達到1-2Pa;無油往復真空泵為粗真空設(shè)備,極限真空度低,需要搭配羅茨真空泵提高極限真空。
2) 抽氣量:無油渦旋真空泵由于內(nèi)部結(jié)構(gòu)問題,抽氣量較小,只適用于小抽氣量的工藝中;干式螺桿真空泵型號齊全,可適用大抽氣量工藝中,配合羅茨真空泵可以滿足不同客戶的需求。
3)穩(wěn)定性:干式螺桿真空泵性能穩(wěn)定,噪音低,故障率低;無油往復真空泵結(jié)構(gòu)簡單,噪音較高,需要經(jīng)常更換滑片。爪式真空泵由于裝配復雜,轉(zhuǎn)子與軸不為一體,出現(xiàn)故障需全部重新拆解裝配,反復裝配從而降低產(chǎn)品性能及穩(wěn)定性。
4)特殊處理:由于化工、制藥等相關(guān)工藝氣中會不同程度含有易燃、易爆以及腐蝕性氣體,所以干式真空泵需要特殊處理。干式螺桿真空泵內(nèi)部結(jié)構(gòu)簡單,兩根轉(zhuǎn)子、泵腔均可做防腐處理,可選用鎳磷涂層和特氟龍兩種涂層。爪式真空泵很難做防腐處理,各級隔板之間幾乎無法做表面處理,轉(zhuǎn)子表面的防腐涂層也容易在裝配時損傷。無油渦旋真空泵只適合抽潔凈的氣體,不能抽取易燃、易爆及具有腐蝕性的氣體。