2013年止，真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì)，在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大，原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題：一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器，而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量，增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次，由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì)，使泵不能正常工作。對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō)，雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流，但不能徹底解決問(wèn)題，而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵，則可以達(dá)到理想的使用效果。

       目前市面上的干式真空泵多用夾套冷卻水對(duì)轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。而有的立式螺桿干式真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特，比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內(nèi)表面的溫度，不至于溫度過(guò)高或過(guò)低，始終維持在一個(gè)合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解，及高溫易聚合的物質(zhì)，比如宇宙星真空機(jī)電設(shè)備的干式真空泵就比較適合。

       現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來(lái)，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來(lái)越多的真空泵用戶(hù)意識(shí)到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會(huì)引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級(jí)設(shè)計(jì)，同多級(jí)泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來(lái)的維修成本上有很大的優(yōu)勢(shì)。

       干式真空泵如果是在初次試泵時(shí)卡住不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)，一般要考慮是不是在管路連接和安裝時(shí)有金屬異物（如螺絲、焊渣等）掉入泵內(nèi)卡住轉(zhuǎn)子導(dǎo)致泵不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)。

       在正常使用期間，停泵以后無(wú)法再次啟動(dòng)，一般是因?yàn)樗闅怏w中的冷凝物料滯留在泵體內(nèi)在常溫下凝固致使2個(gè)轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵體之間發(fā)生粘結(jié)而無(wú)法啟動(dòng)，或者是因?yàn)樗闅怏w中粉塵太多滯留泵體內(nèi)擠住轉(zhuǎn)子不能轉(zhuǎn)動(dòng)。如果發(fā)生真空泵不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)的現(xiàn)象，一般情況下先不要拆解泵體，有異物的可以試試人工反轉(zhuǎn)取出異物，使用后的泵可以試試用溶劑溶解處理，確實(shí)無(wú)法解決的再考慮拆解泵體進(jìn)行清理。