真空泵我們很多行業(yè)都在使用,它的類型也有很多種,能適應多種環(huán)境、多種場合、多種行業(yè)進行使用。設備本身也是優(yōu)點眾多,很多人不了解它具體的特點,其實一般歸納起來有以下四點:
(1)在較寬的壓力范圍內(nèi)有較大的抽速;
(2)轉子具有良好的幾何對稱性,故振動小,運轉平穩(wěn)。轉子間及轉子和殼體間均有間隙,不用潤滑,摩擦損失小,可大大降低驅動功率,從而可實現(xiàn)較高轉速;
(3)泵腔內(nèi)無需用油密封和潤滑,可減少油蒸氣對真空系統(tǒng)的污染;
(4)泵腔內(nèi)無壓縮,無排氣閥。結構簡單、緊湊,對被抽氣體中的灰塵和水蒸汽不敏感。
真空泵廠家的真空泵立式結構的進、排氣口水平設置,裝配和連接管路都比較方便。但泵的重心較高,在高速運轉時穩(wěn)定性差,故這種型式多用于小泵。
真空泵臥式泵的進氣口在上,排氣口在下。有時為了真空系統(tǒng)管道安裝連接方便,可將排氣口從水平方向接出,即進、排氣方向是相互垂直的。此時,排氣口可以從左或右兩個方向開口,除接排氣管道一端外,另一端堵死或接旁通閥。這種泵結構重心低,高速運轉時穩(wěn)定性好。一般大、中型泵多采用此種結構。
真空泵建立全無油的超高真空系統(tǒng),可以采用濺射離子泵和低溫吸附泵組成的系統(tǒng)。這種系統(tǒng)可以獲得10-3~10-9Pa的清潔真空,主要殘余氣體是H2。但這種配置由于吸附泵的排氣量有限,起動不方便,不適用于抽除氣體量大和頻繁起動的場合。如果用機械泵串聯(lián)擋油吸附阱代替吸附泵,可以克服吸附泵排氣量小的缺點,但代價是喪失了全無油的優(yōu)點。濺射離子泵系統(tǒng)的缺點是對惰性氣體的抽速很小,不適用于抽除以惰性氣體為主的負載氣體,另外其價格也較高?! ?/p>