干式真空泵很早就出現(xiàn)了,但沒有明確的定義。就代替油封式機械泵來說,一般通用的說法是:能在大氣壓到10-2Pa 的壓力范圍內(nèi)工作;在泵的抽氣流道(如泵腔)中,不能使用任何油類和液體、排氣口與大氣相通,能連續(xù)向大氣中排氣的泵,即稱為無油真空泵(也稱為干式真空泵)。
干式真空泵與油泵相比真空度低,抽氣量小,但體積小巧,易于安裝,維護簡單,移動方便,不產(chǎn)生油煙,不污染環(huán)境,尤其在要求較高的實驗室使用較好,也是實驗室常備的設(shè)備之一。
在選購干式真空泵時要先確定要求工作的真空度,如果需求的真度高,而選的真空泵就要高于需求的真空度,否則達不到抽真空的要求,就會達不到工作要求。其次是干式真空泵抽氣速率,選型時就要稍大于所需求的抽氣速率,這樣就能更好的滿足需要??闯槿〉臍怏w有無腐蝕性,有腐蝕的氣體會腐蝕泵,必須要用特殊的材質(zhì)才能滿足需求。
干式真空泵在結(jié)構(gòu)設(shè)計上,如泵的傳動齒輪和軸承等仍在使用潤滑油,也有用合成油,如PFPE油和其油脂等,并采取一定的措施使油蒸汽在泵腔內(nèi)不存在,嚴格來說不是全無油的泵,但經(jīng)分析,這種合成油的成分在泵入口處是微乎其微的,并無影響。
對于普通的干式真空系統(tǒng)來說,雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類附件來防止返流,但不能徹底解決問題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當型式的干式機械真空泵,則可以達到理想的使用效果,同時噪音非常小,具有很好的環(huán)保效果。對此,中山市宇宙星真空機電設(shè)備有限公司預(yù)測:受惠于國家相應(yīng)的低碳環(huán)保優(yōu)惠政策,以及社會各界日益增強的節(jié)能環(huán)保意識,干式真空泵或?qū)⒊蔀槲磥碚婵毡檬袌錾系摹皳屖重洝薄?/p>