對于不同類型的干式真空泵，我們都渴望能夠?qū)⑵湮锢沓叽鐪p小。但這與真空泵的抽氣速率相矛盾，因?yàn)檎婵毡玫某闅馑俾逝c真空泵的容積成正比，物理尺寸小意味著容積也小。當(dāng)然，還有一個(gè)影響真空泵的抽氣速率的重要因素，那就是轉(zhuǎn)速。為了讓小尺寸的真空泵的抽氣速率與大尺寸真空泵的抽氣速率相匹配，就需要提高它的轉(zhuǎn)速。而想要改變真空泵的轉(zhuǎn)速有兩種方法，一是改變電源的頻率，即采用變頻器;二是改變齒輪箱的傳動(dòng)比。其中，采用變頻器的好處是可以提供一個(gè)閉環(huán)控制，但在大負(fù)載下容易引起扭距的損失。而改變齒輪箱的傳動(dòng)比是一種非常經(jīng)濟(jì)的方法，當(dāng)然，它只能提供不可控的單一轉(zhuǎn)速。

    現(xiàn)在，可以看到干式真空泵有著如此多的不同設(shè)計(jì)，它們各自有著自己的特性和優(yōu)缺點(diǎn)。一直以來，使用成本是一個(gè)影響人們選擇真空泵的重要因素。越來越多的真空泵用戶意識到也應(yīng)該將真空泵運(yùn)行的穩(wěn)定性考慮進(jìn)去。因?yàn)檎婵毡玫囊馔獬鲥e(cuò)會引起機(jī)器的使用效率降低，影響到晶圓的生產(chǎn)和交貨期，甚至造成所加工晶圓的報(bào)廢和機(jī)器其它部件的損壞。由于螺桿式設(shè)計(jì)為單級設(shè)計(jì)，同多級泵如圓裂片式，爪式以及組合式相比，其在零件的使用數(shù)量上減少了60%。這使得其在穩(wěn)定性和將來的維修成本上有很大的優(yōu)勢。

    干式真空泵如果是在第一次試泵時(shí)卡住不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)，一般要考慮是不是在管路連接和安裝時(shí)有金屬異物（如螺絲、焊渣等）掉入泵內(nèi)卡住轉(zhuǎn)子導(dǎo)致泵不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)。

    在正常使用期間，停泵以后無法再次啟動(dòng)，一般是因?yàn)樗闅怏w中的冷凝物料滯留在泵體內(nèi)在常溫下凝固致使2個(gè)轉(zhuǎn)子之間以及轉(zhuǎn)子與泵體之間發(fā)生粘結(jié)而無法啟動(dòng)，或者是因?yàn)樗闅怏w中粉塵太多滯留泵體內(nèi)擠住轉(zhuǎn)子不能轉(zhuǎn)動(dòng)。

　　如果發(fā)生真空泵不能啟動(dòng)和運(yùn)轉(zhuǎn)的現(xiàn)象，一般情況下先不要拆解泵體，有異物的可以試試人工反轉(zhuǎn)取出異物，使用后的泵可以試試用溶劑溶解處理，確實(shí)無法解決的再考慮拆解泵體進(jìn)行清理。

    目前市面上的干式真空泵多用夾套冷卻水對轉(zhuǎn)子進(jìn)行冷卻。而有的立式螺桿干式真空泵的冷卻系統(tǒng)更獨(dú)特，比如在泵內(nèi)增加了螺桿內(nèi)部冷卻劑冷卻及直接氣體冷卻，很好的維持內(nèi)表面的溫度，不至于溫度過高或過低，始終維持在一個(gè)合適的溫度，以防被抽的熱敏性物質(zhì)分解，及高溫易聚合的物質(zhì)，比如宇宙星真空機(jī)電設(shè)備的干式真空泵就比較適合。