干式真空泵在很多應(yīng)用場合達到了理想的使用效果,工作容積中無油,更加耐用,可靠。
1、用于低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;
2、干式真空泵用于半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;
3、除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式真空泵可以滿足要求;
4、干式真空泵適用于化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,防止了有機溶劑造成污染;
5、用做一般無油清潔真空系統(tǒng)的前級泵,以防止油污染。
干式真空泵在應(yīng)用中維護少,更加省時省力,同時也減少了污染的危害。
干式無油真空泵如來果操作或維護不當(dāng),就會造成冒煙等故障,這時候我們首先要了解原因,然后找出解決方案。
1、冒煙,如果是干式無油真空泵剛剛開始運轉(zhuǎn)有冒煙的現(xiàn)象,屬于正常,如果長時間在冒煙就是不正常了。
解決方法:冒煙說明泵的進氣口外,包括管道、閥門、容器有修理的情況。檢漏以后處理了,冒煙會結(jié)束。
2、噴油,說明進氣口外有大量的漏點,甚至是進氣口暴露大氣。
解決方法:①封住干式無油真空泵的進氣口使泵運轉(zhuǎn),如果不噴油的話,說明有漏點;
②排氣閥片損壞,檢查排氣閥片是否損壞,更換壞的排氣閥片。
干式無油真空泵故障分別由不同的原因引起的,零部件損壞要及時的更換,防止引起大的故障。
干式真空泵溫度高一直是困擾用戶的大問題,解決這個問題首先要了解導(dǎo)致這種問題出現(xiàn)的原因是什么,進行總結(jié)然后做出技術(shù)處理。
一、原因
①風(fēng)扇轉(zhuǎn)速低,風(fēng)壓,風(fēng)量小。電機功率大,工作電流大,發(fā)熱量大
②風(fēng)扇葉片數(shù)較少,產(chǎn)生的風(fēng)量小。
③真空泵電機所在母線電壓380V,由于電纜壓降及負(fù)荷分配不均,電機實際所加電壓只有365V,電壓偏低造成運行電流大。
④電動機附有灰塵、油污,降低了散熱能力。
二、解決方法
電機功率、轉(zhuǎn)速是和真空泵相匹配的,不能更改。風(fēng)扇安裝于電機主軸上,電機轉(zhuǎn)速決定了風(fēng)扇轉(zhuǎn)速,也不可更換。增加風(fēng)扇葉片數(shù)量雖能起到一定作用,但葉片數(shù)量增加后,動平衡不容易找,如找正不好,會引起電機振動增加。
將原風(fēng)扇罩加長40cm,在里面加裝一個與風(fēng)扇罩同直徑軸流風(fēng)機,軸流風(fēng)機電機功率850W,轉(zhuǎn)速1489r/min,電壓380V。原風(fēng)扇繼續(xù)保留。軸流風(fēng)機服裝學(xué)校另設(shè)一路電源控制,軸流風(fēng)機與主電機不設(shè)連鎖。真空泵啟動后及時啟動軸流風(fēng)機運行,真空泵停運后30min停運軸流風(fēng)機,以使主電機得到充分冷卻;定期清除電機上灰塵,保持電機散熱片清潔,增加其散熱能力;將干式真空泵所在母線電壓調(diào)整為400V。