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真空泵廠家

宇宙星課堂:關(guān)于干式真空泵配件的介紹

發(fā)布日期:2017-11-30 作者:宇宙星機(jī)電 點(diǎn)擊:

無(wú)油干式機(jī)械真空泵(又簡(jiǎn)稱(chēng)干式機(jī)械泵)是指泵能從大氣壓力下開(kāi)始抽氣,又能將被抽氣體直接排到大氣中去,泵腔內(nèi)無(wú)油或其他工作介質(zhì),而且泵的極限壓力與油封式真空泵同等量級(jí)或者接近的機(jī)械真空泵。


2013年止,真空行業(yè)使用的大多數(shù)機(jī)械真空泵都是用油、水或其它聚合物等流體充當(dāng)泵的工作介質(zhì),在泵內(nèi)起冷卻、密封、潤(rùn)滑等多種作用。隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展以及真空應(yīng)用領(lǐng)域的擴(kuò)大,原有的機(jī)械真空泵及其組成的抽氣系統(tǒng)出現(xiàn)了兩個(gè)急需解決問(wèn)題:一是泵的工作介質(zhì)返流污染被抽容器,而這種返流在許多情況下影響產(chǎn)品的質(zhì)量、數(shù)量,增加設(shè)備的維護(hù)成本。其次,由于某些工藝過(guò)程中的反應(yīng)物質(zhì)使真空泵內(nèi)的介質(zhì)嚴(yán)重變質(zhì),使泵不能正常工作。


對(duì)于普通的無(wú)油真空系統(tǒng)來(lái)說(shuō),雖然可用油封式真空泵加上冷阱或吸附阱之類(lèi)附件來(lái)防止返流,但不能徹底解決問(wèn)題,而且使系統(tǒng)顯得復(fù)雜。而使用適當(dāng)型式的干式機(jī)械真空泵,則可以達(dá)到理想的使用效果。


應(yīng)用

干式真空泵的應(yīng)用是廣泛的,主要有以下幾個(gè)方面:

1)低壓化學(xué)氣相沉積中的多晶硅制備工藝中;

2)半導(dǎo)體刻蝕工藝。在這些生產(chǎn)工藝中往往用到或生成腐蝕性氣體和研磨微粒;

3)除半導(dǎo)體工藝外的某些產(chǎn)生微粒的工藝,不希望微?;烊氡糜椭?,而希望微粒排出泵外,則用一定型式的干式機(jī)械真空泵可以滿(mǎn)足要求;

4)在化學(xué)工業(yè)、醫(yī)藥工業(yè)、食品工業(yè)中的蒸餾、干燥、脫泡、包裝等,要防止有機(jī)溶劑造成污染,適合用干式真空泵;

5)用做一般無(wú)油清潔真空系統(tǒng)的前級(jí)泵,以防止油污染。

真空泵廠家

在許多工業(yè)過(guò)程中,例如真空過(guò)濾,真空分流,真空進(jìn)料,真空蒸發(fā),真空濃縮,真空回流和真空脫氣,水環(huán)泵已被廣泛應(yīng)用。由于真空應(yīng)用技術(shù)的飛速發(fā)展,水環(huán)泵在粗真空采集方面受到重視。由于水環(huán)泵氣體是等溫壓縮,可以除去易燃,易爆氣體,除灰塵外,還可以除水,因此水環(huán)泵的應(yīng)用越來(lái)越多。在泵體內(nèi)配合適量的水作為工作液。當(dāng)葉輪順時(shí)針旋轉(zhuǎn)時(shí),水被泵送在葉輪周?chē)?,并且由于離心力,水形成大約等于泵腔厚度的閉環(huán)。水環(huán)下部的內(nèi)表面與葉輪轂完全相切,水環(huán)的上內(nèi)表面剛剛與刀片頂部接觸(實(shí)際上刀片在水環(huán)中有一定的插入深度)。


此時(shí)葉輪轂與水環(huán)之間形成月牙形空間,并將此空間分為葉數(shù)和葉數(shù)相同的小腔。如果葉輪的下部以0°為起點(diǎn),則葉輪在180°之間旋轉(zhuǎn)時(shí),小腔體積從小到大,并與吸氣端連接,此時(shí)氣體為吸入,與吸入口隔離;當(dāng)葉輪繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),空腔大大減小,使得氣體被壓縮;當(dāng)小腔和排氣口,氣體將被排出泵外??傊?,水環(huán)泵是由泵室容積變化來(lái)實(shí)現(xiàn)吸氣,壓縮和排氣,因此屬于變?nèi)萘空婵毡?。根泵在泵室?nèi),真空泵中有兩個(gè)“8”形轉(zhuǎn)子需要前級(jí)泵。防腐泵的極限真空取決于泵本身的結(jié)構(gòu)和制造精度,也取決于前泵的極限真空度。


為了提高泵的真空極限,羅茨泵可以串聯(lián)使用。羅茨泵的工作原理就像羅茨鼓風(fēng)機(jī)。作為轉(zhuǎn)子的連續(xù)旋轉(zhuǎn)的結(jié)果,泵從入口被吸入到轉(zhuǎn)子和泵殼體之間的空間v0中,并通過(guò)排氣口排出。由于空氣在v0空間完全封閉后,因此,泵室中的氣體不被壓縮和膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子的頂部通過(guò)排氣邊緣時(shí),v0空間與排氣側(cè)的連通,由于排氣側(cè)的氣體壓力較高,則部分氣體返回空間v0至氣體壓力 突然增加 當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)旋轉(zhuǎn)時(shí),氣體離開(kāi)泵。

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